РЕНТГЕНФЛУОРЕСЦЕНТНЫЕ И РАДИОИЗОТОПНЫЕ ИЗМЕРИТЕЛИ ТОЛЩИНЫ ФУНКЦИОНАЛЬНЫХ ПОКРЫТИЙ С СИСТЕМАМИ РЕГИСТРАЦИИ ИЗЛУЧЕНИЙ НА ОСНОВЕ ППД

Харитонов Ю.П., Смирнов А.А., Федорков В.Г., Хрунов В.С.
АО «Институт физико-технических проблем», Россия, г. Дубна
E-mail: iftp@dubna.ru
Кинжагугов И.Ю.
"Институт точной механики и оптики", Россия, г. Санкт-Петербург

Одним из направлений деятельности АО «ИФТП» является разработка рентгенфлуоресцентных и радиоизотопных толщиномеров функциональных покрытий для работы в составе технологического оборудования автоматического контроля деталей сложного профиля.
Толщиномеры предназначены для неразрушающего экспресс-измерения толщины (поверхностной плотности) металлических и диэлектрических покрытий на изделиях путём регистрации интенсивности характеристического рентгеновского излучения химического элемента покрытия и подложки, а также для идентификации элементного состава основы и многослойных покрытий (в частном случае полуавтоматического контроля серебряного покрытия на оребрённой поверхности деталей сложного профиля.
Для того чтобы исключить появление механических повреждений при контроле изделий, разработан специализированный толщиномера серебряного покрытия с возможностью бесконтактного измерения.
В докладе приведены результаты исследований толщиномера на базе полупроводникового p-i-n детектора на основных этапах разработки и испытаний в составе оборудования автоматического контроля.